二手 AXCELIS Optima MD #293628043 待售
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已售出
ID: 293628043
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Ion implanter, 12"
Medium current implant
Injector
Target positioning or scanning system
CIM: GEM
Gas box
Factory interface: (4) FOUP
Charge control: PLASMA Flood gun, 12" (HP Xe DIN 6 Connection)
End station
Handler system:
AXCELIS Vacuum robot
YASKAWA XU-RC400M-A00 Robot ATM
Linear scan system
CTI Cryo pump system:
IS8
(2) IS250
(2) IS320
(2) PFEIFFER Turbo pumps TMH 1201 for beamline
(2) BUSCH BC100 Rough pumps source or LL+ Transfer
(6) String lines:
Line 1: HP Argon VCR 1/4"
Line 2: SDS PH3 VCR 1/2"
Line 3: SDS AsH3 VCR 1/2"
Line 4: SDS BF3 VCR 1/4"
Line 5: SDS GeF4 VCR 1/4"
Line 6: HP Xe DIN 6
AFFINITY Chiller
(2) CTI Cryo Compressors
2006 Vintage.
AXCELIS Optima MD是一种具有数字和模拟功能的离子植入器和显示器。这台机器旨在帮助各种行业的半导体晶圆的加工。它的灵活性和准确性使得它特别适合于当今的晶圆制造过程。Optima MD提供了广泛的过程，如离子植入、玻璃沉积和外延生长。它可以植入轻质和重质离子，并可用于200 keV和2x1016 离子/cm2剂量的各种能量范围。它还提供各种来源选项以适应不同的晶圆要求。此外，该机还配备了板载端点检测系统，以确保植入精度，以及自动晶圆对准。植入器的数字化特性提供了简单全面的配方控制。基于GUI的监视和控制软件包允许用户访问各种配方和自定义参数以适合各个流程。机器还包括高级诊断,以及带有实时数据显示的警报和状态面板。AXCELIS Optima MD配有坚固的不锈钢外壳和控制平台。它还提供了一系列额外的附件和组件，如离子束扫描系统和过程控制模块。该系统设计为易于直观操作，即使经验有限的工作人员也是如此。Optima MD可以为离子植入处理提供全面可靠的解决方桉。由于其灵活的设计、强大的数字平台和广泛的功能,它是最高效、最精确的机器之一。此外，它易于使用和设置，使其成为任何晶圆制造工艺的理想选择。
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