二手 AXCELIS Optima MD #293723865 待售

AXCELIS Optima MD是由AXCELIS Technologies制造的先进离子植入器和显示器设备。该系统被半导体工厂用于蚀刻和掺杂小型半导体器件。它专为高产量、低拥有成本、高吞吐量而设计。Optima MD由操作具有16 GB内存的英特尔酷睿i7处理器的MSX控制器提供支持。其主要部件包括具有优化吞吐量的自动晶圆处理单元、电动晶圆传递臂、光束进近组件和自动光束转向能力。它效率高,可实现高达90 WPH的速度。AXCELIS Optima MD还配备了强大的离子植入器，能够提供高达6 x 10^15 离子/cm2的靶向峰值剂量。一个非常高效的电子进纸机有助于保持高精度剂量，提供一个非常可重现的过程。它还能够提供不同的离子能，而无需单独/双离子源系统。Optima MD也有强大的实时监控工具。它可以检测任何异常或意外事件,为用户提供重要数据和警告。流程数据可以存储在FTP文件中,以便将来进行检查和分析。此外，AXCELIS Optima MD具有独特的三维梁轮廓能力。这允许用户查看实际的梁轮廓，并相应调整梁对准，以达到理想的工艺效果。集成过程分析软件有助于快速识别过程并减少产品变化。Optima MD是一种可靠可靠的资产,有助于最大程度地减少停机时间。它使用高度可靠的真空模型快速植入周期，减少产品停机时间。该设备还利用低功率、直流供电的离子源提供高剂量率。AXCELIS Optima MD是高产量、高性价比制造的理想植入器和监控系统。其高效、易于使用的界面和强大而可靠的元件使其成为半导体工厂的一个值得选择的选择。