二手 AXCELIS Optima MD #9377001 待售

AXCELIS Optima MD离子植入器是世界上最先进的离子植入器和监视器。它旨在提高生产率,提高产量和成本效益。这种高度复杂的工具提供高吞吐量能力和强大的过程控制。Optima MD提供高加速度电压和高光束电流,可获得优异的植入效果.其先进的端站电源确保在要求最苛刻的应用中始终保持剂量均匀性。紧凑的设计即使在最有限的空间中也能提供最大的正常运行时间和灵活性。AXCELIS Optima MD还提供了一个独特的显示器设备,该设备具有获得专利的Pro- Monitor™系统,该系统可以不断监控过程参数并检测过程变化,以确保设备输出可重复的高质量植入物。Optima MD专为超高生产率和最高工艺可重复性而设计。AXCELIS Optima MD独特的过程控制单元提供连续的过程监视以检测任何过程不稳定。本机提供优越的溅射屈服和改进的粒子控制，使设备产生最精确的植入过程。Optima MD配备了离子束诊断工具的最新技术，包括Opticore™电流监视器和Modemission™束形状监视器。这些高级工具可加快周转时间并改进过程控制。最后,AXCELIS Optima MD提供了真正的即插即用功能,允许快速设置和实施。用户友好的操作工具与全面的诊断和过程软件套件相结合,保证了与任何特定环境的平稳集成。用户界面允许轻松导航和了解植入参数。综上所述，Optima MD是一款具有卓越工艺控制能力、高通量、出色植入均匀性的先进离子植入器。其各种诊断工具旨在检测任何过程的不稳定性，以加快响应速度和提高产品产量。此外,用户还可以享受AXCELIS Optima MD的即插即用功能和用户友好界面。