二手 EATON NOVA / AXCELIS 1204990 REV C #9145255 待售

EATON NOVA/AXCELIS 1204990 REV C离子植入器和监视器是一种最先进的设备，用于以受控方式将离子植入半导体基板。它的设计目的是能够在薄膜中制作精确和精确的深度剖面，并确定需要调整的参数，以便取得最佳结果。该系统由几个部分组成，其中最重要的一个是真空室。这是实际的离子植入程序发生的地方，它的墙壁由不锈钢制成。它的真空用保持预定压力水平的气动装置排空。这对于在植入过程中保持底物的稳定性和完整性很重要。该机还配备了各种计算机控制的测量和分析工具。其中包括残留气体分析仪、质谱仪、离子监测器和质量过滤器。质谱仪用于识别正在植入的离子种类，而离子监测仪则允许对植入及其影响进行持续监测。这有助于确保该过程产生所需的结果。该工具还具有用于精确光束转向和聚焦的高精度离子光学元件。这对于获得所需的深度和剖面以及控制离子在底物上的分布非常重要。资产还包括二次电子倍增器，用于更好地检测离子进入底物时产生的二次电子。这有助于提高流程的准确性和可重复性。AXCELIS 1204990 REV C离子植入器和监视器是提供高度准确可靠植入过程的先进型号。它的组件被设计为质量最高的组件,并配置为协调一致地协同工作,从而提供高效、可靠和经济高效的结果。是现代半导体芯片质量控制的理想设备。