二手 EATON NOVA / AXCELIS 1204990 REV C #9145256 待售

EATON NOVA/AXCELIS 1204990 REV C是由AXCELIS製造的离子植入器和监听装置。这种装置用于半导体制造过程，如掺杂区域的硅片掺杂。AXCELIS 1204990 REV C采用先进的离子植入技术,具有精确、均匀的电气特性.该设备设有一个带有x-y扫描仪、晶片级和多丝离子源的控制器单元，全部组合在一个帧中并集成到一个自动化系统中。晶片级用于在硅片加工过程中保持和旋转晶片。该扫描仪用于精确放置离子束，以达到所需的掺杂位置。多丝离子源是离子束形成光学器件的组成部分，用于生成一束高能正负离子的所需元素，并引导它们走向晶圆的目标区域。EATON NOVA 1204990 REV C的设计允许精确控制离子束植入过程，提供对被植入离子的能量、剂量和轮廓的精细控制。控制器能够同时控制恒流和恒压植入模式，电压、电流和离子种类的可定值。该装置还配备了一系列监控系统，用于监控和维护离子植入过程的质量。1204990 REV C能够显示以图形表示的数据,从而提供该过程的深入图片。EATON NOVA/AXCELIS 1204990 REV C是控制和监测半导体制造植入过程的理想设备。它提供了对离子植入过程的高度精确的控制，使得复杂和精确的掺杂结果。综合监测系统还能够以确保高质量最终产品的方式维护工艺参数。AXCELIS 1204990 REV C以其先进的技术和精确的控制，是一种可靠、通用的半导体制造装置。