二手 EATON NOVA / AXCELIS 25D1HE #9142166 待售

EATON NOVA/AXCELIS 25D1HE离子植入器是一种用于半导体制造和组装的高精度、高性能的机器。这种离子植入器特别适合于高效的离子植入和三维堆迭模具或MEMS/MOEMS设备的监测。AXCELIS 25D1HE的重要组成部分包括：高分辨率、高精度扫描电子显微镜；聚焦离子束（FIB）柱；远程等离子体源（RPS）；以及高力电子束（HFEB）柱。EATON NOVA 25D1HE的显微镜能力允许对具有次埃分辨率的纳米结构进行成像。离子束柱能够以高达1 MeV的植入物能量进行离子植入，并能聚焦光束以确保植入物的均匀性。RPS使用户能够在植入室内生成等离子体。这有助于更快的植入，改善植入物的均匀性，并减少设备不对准。HFEB列提供高精度的特征控制,允许用户以更高的精度和可重复性蚀刻特征。25D1HE还提供了一个连续记录离子植入器性能的集成监控设备，向用户提供实时反馈。这种监测系统利用各种传感器和诊断来测量和显示诸如离子束参数、腔室压力和电池温度等诊断参数的值。它还允许用户跟踪和记录植入过程的信息，以确保成品设备的最高质量和准确性。EATON NOVA/AXCELIS 25D1HE是一种可靠、先进的离子植入器和监控装置。它在各种离子植入任务中提供卓越的性能和准确性，使其成为原型和生产应用的绝佳选择。利用其集成的监控机器，用户可以不断评估机器的性能，使他们能够生产出具有最佳效果的设备。