二手 EATON NOVA / AXCELIS 6200 #293752727 待售

EATON NOVA/AXCELIS 6200是一款高性能的离子植入器和显示器。它设计用于离子束加工的大批量生产，广泛应用于半导体制造、汽车、航空航天、医疗等行业。AXCELIS 6200是一个完全独立的设备，由离子枪、高压电源、波束线监视器和控制系统四个主要部件组成。离子枪由高压电源供电，使离子加速到其工作能量。光束线监测器测量离子束的精确参数，以便精确操作和反馈到控制单元。EATON NOVA 6200能够在直径不超过6英寸、长度不超过12英寸的晶片上进行离子植入。它能够在每米300万伏特的能量下进行离子植入，光束电流从20到10,000纳米团。它还能够同时植入正离子和负离子，以及其他多种离子，包括B 11、Gaif、O2+、N2+、P2+和Ar+。6200提供了光束几何形状、光束能量、光束电流和剂量方面的极限精度。它还提供了极为均匀的光束轮廓和穿孔,而无需使用掩模。而且，该机能够以极好的重复性进行快速处理，提供高水平的生产率和准确性。EATON NOVA/AXCELIS 6200还带有内置的安全功能，如Visual Alarm Tool （VAS）、用于保护故障的数字互锁以及先进的HV电源和光束监视器保护系统。这样可以确保资产在任何时候都能安全运行。AXCELIS 6200是对先进、可靠、可靠的机器性能进行高效操作和控制的理想选择。它在易于使用和经济实惠的软件包中提供卓越的性能、准确性和灵活性。