二手 EATON NOVA / AXCELIS 6200 #9182215 待售

EATON NOVA/AXCELIS 6200离子植入器和监控器是一种高性能、最先进的离子植入设备。它结合了领先的技术和多年的经验,提供了最佳的性能、安全性和可靠性。该系统的源技术支持广泛的植入能量和高剂量。该源是基于墨盒的，有可更换抽屉加载的crucibles和空腔源，并设计为易于维护。扫描仪使用电磁场，可以精确控制植入物的方向和大小。其设计保证了均匀的剂量分布和线边和栅格区域的控制。AXCELIS 6200允许最多四个不同的剂量和植入物角度。用安装在扫描仪旋转轴上的光学编码器监测所产生的植入模式。此单元允许以1.3度的精度监视植入角。该机还包括一个用于精确控制进气流量的高性能质量流控制器和一个在功率波动时保持过程稳定性的穿越动力特性。EATON NOVA 6200机器配备了先进的晶圆温度控制工具，以确保晶圆上的温度均匀，减少过热对敏感设备造成的损坏。它包括自动和手动晶圆分选功能。6200机器包括功能强大的诊断工具和图形用户界面,可帮助诊断问题和故障排除。它还包括先进的实时资产监测，确保该模型始终以安全和可靠的方式运作。EATON NOVA/AXCELIS 6200具有高端性能和先进的设备监控功能,为当今要求苛刻的离子植入应用提供了理想的解决方桉。