二手 EATON NOVA / AXCELIS 6200 #9257995 待售

EATON NOVA/AXCELIS 6200是由Eaton Machines生产的离子植入器和显示器的中档型号。AXCELIS 6200设计用于半导体工业的高速生产。是中程离子植入、植入过程监测的理想选择。EATON NOVA 6200是一款坚固高效的机器，旨在提供精确准确的植入物。它能够与硼、磷、砷、刊物或其他离子植入阳极侧、阴极侧、共聚和自偏。这允许高水平的植入物控制和精确的离子剂量植入。它还能够实现广泛的植入速度，以便最有效地产生所需水平的离子植入。6200配备了几个监控系统，确保所有参数保持在公差范围内。例如,系统监视光束电流、能级、腔室温度和系统可调性。它还具有各种自动化过程，有助于确保植入正确。EATON NOVA/AXCELIS 6200配备了能精确注入所需离子的高精度自动化系统。它有一个可定制的离子植入设置，用于各种类型的底物和离子。这样可以确保每次植入都能完美地完成。AXCELIS 6200也是出于安全考虑而设计的。它配备了几种旨在保护操作员和人员的功能。该机器拥有最新的安全装置，如剂量监测仪，以持续监测植入剂量和保护人员免受有害水平的辐射。它还具有其他几个安全功能，包括真空锁和电源关闭，以防止机器意外操作。总体而言，EATON NOVA 6200是一款可靠高效的中端离子植入器和显示器。它旨在提供精确的植入物和监控，实现中程离子植入。它还具有高度自动化,并配备了多种有助于保护人员的安全功能。6200是任何寻找高效生产中程离子植入物的半导体生产线的理想选择。