二手 EATON NOVA / AXCELIS 8200 #293636664 待售

AXCELIS/Accelis EATON NOVA/AXCELIS 8200是一款精密的中端离子植入器和监视器，旨在将离子精确植入各种材料中。AXCELIS 8200系列，是先前伊顿光谱、Essenza和Celesta系统的后继产品，特别适合于将离子植入硅、砷和砷等半导体材料中，用于各种工业应用。具有高精度、低压力、低污染气线、自对准离子束散射均匀性、植入离子种类广泛等特点。EATON NOVA/Accelis EATON NOVA 8200具有高度可靠的多功能集成控制设备,可让用户快速、精确地设置和调整最佳的离子植入参数。完全自动化，系统可以编程为植入离子和相关条件的任意组合，不需要人工实验，最大限度地减少操作员时间。这个集成的控制单元能够同时处理多达80个离子，使用户能够轻松地快速准确地修改设置。EATON NOVA/AXCELIS/Accelis 8200坚持复合单元的国际标准，在适应离子束时允许更大的灵活性。该机采用高精度、低排放真空工具，可减少腔室污染，并在植入不同来源的离子时具有更高的通量。此外，设计还结合了独特的粒子束界面，允许可调节的旋转和弯曲离子束，允许用户定制束的大小、轮廓和角度。AXCELIS/Accelis EATON NOVA/AXCELIS 8200系列还包括各种先进的监控系统，如光束光学、光束均匀性、温度、轮廓映射和光束电流测量等，使用户能够在离子植入过程中保持标签。此外,资产还包含一个自动校正例程,可根据离子束方向的变化自动重新校准和优化,从而消除手动干预。总之,EATON NOVA/Accelis AXCELIS 8200是一款精密可靠的离子植入器和显示器,具有精确度、多功能性和准确性。它的集成控制模型允许轻松调整，而其先进的监控系统则促进了平稳、高效的植入过程。EATON NOVA/AXCELIS/Accelis EATON NOVA 8200凭借其先进的功能，是植入应用的理想选择。