二手 EATON NOVA / AXCELIS 8250 #9187098 待售

EATON NOVA/AXCELIS 8250是一种高度先进的离子植入器和显示器，用于半导体器件制造。它专为最高级别的流程一致性而设计,提供卓越的净设备性能和产量。AXCELIS 8250结合了三轴扫描机构和先进的计算机控制光束电压剖面发生器，在植入N型和P型掺杂剂方面都具有卓越的精度。EATON NOVA 8250的离子源能够输送高达150毫安的离子束电流，束能量在10到700 keV之间。用户可配置的光束电流、光束能量和扫描区域设置允许高度定制植入物,而无需额外硬件。这项先进的技术使得8250成为新晶片和现有晶片掺杂的绝佳选择。集成工艺监控设备可以连续分析植入晶片的特性，包括剂量、束角、倾斜度、总电流、电压、轮廓位移和掺杂水平。这些先进的测量结果使EATON NOVA/AXCELIS 8250能够以难以置信的精确掺杂轮廓提供植入物,并具有非常特殊的特性,从而产生卓越的设备。该系统还具有独特的热成像传感器技术，有助于验证植入过程中的最佳整体晶圆温度。AXCELIS 8250先进的计算机控制器单元有助于快速、一致地安装和操作植入器。用户友好的界面允许简单的操作，可定制的参数可以很容易地输入并保存在机器中以备将来使用。方便的远程维护功能和出色的操作后诊断,使该工具随时间推移易于维护。EATON NOVA 8250是一款先进的离子植入器和显示器，旨在提供卓越的精度和均匀的装置植入物。这种多用途、用户友好的资产能够快速、准确地传递受控的离子束电流、束能量和扫描区域，以获得最佳的掺杂水平和设备性能。8250以其强大的监控模型,以卓越的精确度和产量提供植入物。