二手 EATON NOVA / AXCELIS 8250HT #9410494 待售
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ID: 9410494
Implanter
Beamline and endstation
(2) Valves
Higher maintenance flexibility
Enhanced ELS Ion source:
Common with MC3, HE, HE3
Active Vaporizer Cooling (AVC)
Source lifetime: > 400 Hours
3-Axis extraction electrode:
Extraction voltage: 15 kV - 40kV
Water cooled
Water cooled: 90°
Mass analysis Magnet
Closed-loop AMU controller
(2) Vaporizers
High temperature
AVC Temperature
Auto tune beam current target
Achieving desired energy
Beam scanning and beam correction
Electrostatic angle correction
Beam parallelism measurement
Exceptional beam parallelism
Angular Energy Filter (AEF)
Dosimetry system and charge control
Secondary electron shower
Electrostatic clamping
In-air wafer handling
In-vac wafer scanning
Wafer handling sequence
Control system
Uniformity and repeatability
Proven control system.
EATON NOVA/AXCELIS 8250HT是一种复杂的离子植入器和监测器，用于复杂的半导体制造应用。它是一种精密加工材料的工具，能够分析、调节和控制高纯度、精密材料的生产过程。其脉宽大、处理时间短，是高功率离子植入的有效解决方桉。AXCELIS 8250HT利用高科技加速器、电源和过程控制系统的组合,使生产保持最佳运行状态。它配备了多种功能，旨在提高生产力、准确性和安全性。其柔性蓄电池设备（FAS）可以快速扫描晶圆或太阳能电池，以确保其准确性和减少误差。其编程数字控制系统（PDC）用于精确控制工艺参数，以确保尽可能高的纯度和性能。它还包括一个Intact/Darkside Auto-Analysis （IDAA）单元,用于分析、隔离和调整参数设置以优化结果。除了自动化功能外，EATON NOVA 8250 HT还为运营商提供了一套监控工具。其图形用户界面（GUI）提供了一种简单直观的方法来管理流程并根据需要进行调整。它的远程诊断机器（RDS）用于诊断、诊断和微调工具中的任何故障或不一致。其质量映射技术可以准确检测和分析植入对晶圆或太阳能电池不同位置的影响。最后,它的User-Switchable Stage提供了在不同植入条件之间快速切换的可能性,以确保高效的过程而不会丢失任何数据。总之，EATON NOVA 8250HT是一个先进和创新的离子植入器和监视器，具有多种功能，旨在提高工艺精度、速度和安全性。其通用、全面的控制使其成为专业半导体制造应用的理想解决方桉。
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