二手 EATON NOVA / AXCELIS Al Disk for GSD #293655848 待售

EATON NOVA/AXCELIS Al Disk for GSD是一种最先进的离子植入器和显示器,专为半导体制造行业的应用而设计。该设备集成了数字离子监控器、微型离子植入器和大面积数字检测器，为可靠、经济高效的过程控制提供材料轮廓信息。该监视器的设计允许最高质量的光束轮廓控制，确保一个干净和准确的植入。该系统利用质量范围测量（MRM）和串联电离（TI）技术，能够根据离子的质量和电荷分布检测和监测离子。另外，离子植入器装有一个电磁体以维持离子的均匀分布，以及一个高脉冲激光器以防止晶圆污染。使用AXCELIS Al Disk for GSD,用户可以访问易于使用的图形用户界面,从而实现设备的无缝直观操作。此外,该机器还包含一个数字成像传感器,该传感器连接到成像检测器,用于优化过程监控。EATON NOVA Al Disk for GSD的设计提供了最大的使用灵活性和吞吐量。利用板载控制器的组合,该工具能够改变工作频率、控制脉冲速率和监控温度以实现最佳操作。而且，该资产具有可调的植入深度、广泛的植入角度以及为不同植入材料和应用而设计的植入配置。除了性能外，Al Disk for GSD还具有先进的用户保护功能，包括实时观察（包括警报和通知）和远程监控功能。AlDisk电极表面处理（ATES）设备进一步补充了这一模型，该设备有助于防止电极表面退化。总体而言,EATON NOVA/AXCELIS Al Disk for GSD是一款最先进的离子植入器和显示器,具有前沿功能,可提供可靠且经济高效的过程控制。它旨在通过用户保护功能和性能功能提供灵活而准确的植入,从而实现最大的使用灵活性和吞吐量。凭借其先进的数字成像传感器，用户可以确保实现植入的最高质量。