二手 EATON NOVA / AXCELIS C-6000 #9248477 待售

EATON NOVA/AXCELIS C-6000是一种专门的离子植入器和监控设备。它被设计用来精确涂料半导体晶片和集成电路（IC）基板使用加速离子，提高精度和速度。该系统采用先进的离子喷枪进行植入过程，并采用高分辨率传感器对植入过程进行精确监测。AXCELIS C-6000由一个双轴龙门单元组成，该单元使用直线电动机进行离子源和晶圆的超精确移动，以确保在X和Y平面中的正确定位。电机控制是可编程的,允许精确植入所需的掺杂剂轮廓.离子源，典型的考夫曼离子源，用于高能离子植入应用。考夫曼源提供了广泛的离子种类，允许在基质上的柔性植入型材。EATON NOVA C-6000利用高分辨率法拉第杯监测机对兴奋剂过程进行精确监测和控制。这种法拉第杯工具可以让加速离子的速度被精确测量和即时控制。植入剂量的实时信息可以从法拉第杯中获取，允许更精确准确的过程控制。除了法拉第杯外，C-6000还配备了先进的电阻监测仪，用于剂量的测定和控制。该模型使用一组四个并行探测器实时监测植入剂量。通过将探测器的读数与预设值进行比较，可以很容易地监测和控制适当的植入。EATON NOVA/AXCELIS C-6000包括一个先进的真空设备，其设计目的是能够有效地利用离子束能量进行植入过程。采用最先进的涡轮分子泵，充分选择泵送管路和高有效泵送速度，确保了稳定的真空环境。该系统旨在使植入活动能够在较低的压力下进行，从而显着提高植入过程的可预测性和准确性。AXCELIS C-6000是一个先进的离子植入器和监控单元，允许半导体晶圆和IC基板的精确和高速掺杂。它采用先进的离子枪、高精度的法拉第杯监测机，以及先进的电阻监测仪，用于精确的剂量控制。此外，先进的真空资产确保有效利用离子束，以提供所需掺杂水平的准确植入。