二手 EATON NOVA / AXCELIS Conversion kit for GSD 200 #293663564 待售

EATON NOVA/AXCELIS Conversion kit for GSD 200 is a ion implanter and monitor equipment designed to more countor and measure GaAs process parameters in a single system.GSD 200能够为各种类型的GaAs设备（无论是HBT、PHEMT还是LED/LD结构）提供优化的设备性能。该装置提高了植入的准确性和可靠性，并监测和控制了工艺参数。利用这台机器，处理器能够监测离子植入器的电压、电流、束发射电流，以及收集和分析电荷收集效率、瞬时剂量率、束穿透深度等重要特性，进行更全面的植入物性能评价。此外，GSD 200收集的数据包有助于校正植入参数，以确保植入轮廓一致。GSD 200的用户界面被设计为用户友好、简单，允许操作员轻松输入命令，而图形显示监视器则帮助用户查看关键参数设置以精确植入区域。将此工具设置为满足最佳的特定工艺参数可以通过一个广泛的参数库进行指导，鼓励为受控、高效和可靠的平面晶片工艺定制植入特性。此外，GSD 200支持广泛的电源，允许离子植入能量的快速切换。这一资产还为用户提供了一种独特的能谱移位功能，可用于补偿特定范围内的能量移位系数。这是一个非常有用和有价值的特性，因为它有助于提供均匀的植入轮廓和更好的可重复性，即使在植入电压发生微小的变化。AXCELIS Conversion Kit for GSD 200 Ion Implanter and Monitor是卓越的低成本解决方桉,可用于出色的GaAs监控和分析。它提供可靠的植入性能，并确保一致的植入轮廓，为用户提供精确植入的保证。此外，它易于使用的界面既方便用户又高效，为用户提供完全的植入参数控制，以优化性能。