二手 EATON NOVA / AXCELIS Disk for GSD #9374660 待售

ID: 9374660
晶圆大小: 5"
5".
EATON NOVA/AXCELIS Disk for GSD是一款先进的离子植入器和监控设备,由半导体行业集成解决方桉的领先提供商Eaton Corporation生产。AXCELIS Disk for GSD将高精度离子植入器和一套全面的监控软件结合到一个集成、直观的系统中。该装置旨在为用户提供最高精度和精确度的离子植入需求。EATON NOVA Disk for GSD是一种先进的机器,旨在优化和控制植入条件,如梁和工艺参数。该工具能够精确地处理各种材料。该硬件具有高分辨率离子植入器模块、强大的阴极电源、改进的光束转换器设计以及高带宽离子清除资产,这些都有助于确保最佳的离子植入精度。Disk for GSD的监视功能使用户能够监视离子束参数,如光束功率、光束电流、光束大小和光束轮廓。该模型还具有实时轮廓监视器,它使用户能够优化梁轮廓轮廓以获得所需的结果。EATON NOVA/AXCELIS Disk for GSD还为用户提供了实时过程控制功能,以及检查新材料是否与系统过程参数兼容的能力。AXCELIS Disk for GSD维护成本低,并具有直观的用户界面,易于使用。该设备提供了广泛的工具菜单和诊断服务,使用户能够轻松优化植入过程。该系统还设有一个完整的食谱和材料数据库,以确保准确的结果和可重复的过程。总体而言,EATON NOVA Disk for GSD是一个高级离子植入器和监控单元,旨在为用户提供高精度、低维护成本和精密控制。它结合了硬件、软件和监控功能,使其成为在半导体行业中实现准确和可重复结果的理想解决方桉。
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