二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD 100 #9103072 待售

EATON NOVA/AXCELIS GSD 100是专门为半导体工业设计的离子植入器和监视器。它是一款高性能的设备，融合了多种高级功能，提供了高水平的准确性、可靠性和灵活性。AXCELIS GSD 100基于单级平台、多层设计和离子源系统。该单元设计用于容纳不同类型的离子，具有更大范围的源能量和能量。利用高压源和增强的拉格朗日磁场均质以及具有独立控制磁场的光束均质机。离子源和加速工具可以单独使用，也可以组合在溷合配置中用于更高的光束电流。监测资产由一系列集成组件组成，包括GSD主板、真空控制单元、光束监视器、电压表/万用表和软件包。GSD主板负责按照用户规格控制梁和环境参数，使用一系列阀门控制气体成分。真空控制单元允许维持适当的腔室压力和串扰控制。光束监视器负责监测光束对目标的强度和电流、旋转角度和能量水平。最后，Voltmeters/Multimeters负责测量植入过程中目标的温度、压力和电流。这些软件包用于GSDMainBoard、真空控制单元和光束监视器的操作,以及与其他系统的接口。该软件包括一个集成了参数配置更改的专家模型以及一个GUI/CLI界面。EATON NOVA GSD 100还包括一个可用于业务自动化的定制可编程逻辑控制器（PLC）。凭借其先进的功能，GSD 100可用于广泛的应用。用于将掺杂原子植入半导体，用于通信、汽车、航空航天、军事等多个行业。该设备还用于薄膜晶体管（TFT）的制造以及硅片的蚀刻和清洗。EATON NOVA/AXCELIS GSD 100是一个可靠的系统，在植入过程的控制和监测中提供高精度。它为不同类型的流程提供了高度的灵活性,增强了安全功能,并为自定义自动化流程提供了可编程平台。