二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200 #9132020 待售

EATON NOVA/AXCELIS GSD 200是最先进的离子植入器&监视器。它是市场上最先进的植入物，专为快速精确的受控将掺杂离子植入底物而设计。它提供了多种工艺控制选项，如剂量率、能量范围和离子种类选择，使其成为制造和生产半导体和光电器件的理想选择。AXCELIS GSD 200专为中大规模生产而设计，采用严格的自动控制，确保精确植入晶圆。EATON NOVA GSD 200在单个系统中结合了最佳的手动和自动化过程,以实现卓越的晶圆覆盖范围和产量。它拥有一个全自动平台，以及一个用户友好的触摸屏界面，用户可以方便地监控和控制兴奋剂处理过程。系统能达到+/-0.2%的光束电流精度，光束能量精度达到+/-0.5%。GSD 200还有一个自动的剂量、能量和通量速率调整，允许一个准确和可重复的植入过程。其先进的晶片扫描仪可以准确定位基板进行植入，而数字成像仪和双相机则提供完整晶片表面的详细参考图像。EATON NOVA/AXCELIS GSD 200还配备了大量的安全功能，包括在紧急情况下全自动关闭。先进的电源系统优化了电源的利用率,提高了效率.总之,AXCELIS GSD 200是优化离子注入的绝佳解决方桉.它配备了最新的特性和技术，以创造最一致和可重复的植入过程。凭借其安全特性和用户友好的界面，它是各种应用的理想选择。