二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E2 #14146 待售
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EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E2是一种先进的半导体生产离子植入器和监控系统。它是一种单端、数控、中电流振荡束类型的电子束离子植入器,适用于离子植入和原位监测任务。利用其全面的设置范围,AXCELIS GSD 200E-2可以精确控制要注入半导体材料的离子剂量。它还对用于植入离子的电子束的位置和形状有精确的控制,允许对离子植入过程进行更大的微调。此外,EATON NOVA GSD 200 E2提供了一个集成的原位监控系统,具有广泛的灵敏度和参数。这使得离子植入的监测具有很高的精度和准确性。监测系统还具有自动安全功能,以防止过多离子的植入以及半导体材料受到污染等其他影响。为确保设备正常运行,EATON NOVA GSD 200E2设计有直接和远程控制选项。这使技术人员能够从控制台或单独的计算机工作站控制设备,从而获得更大的灵活性和便利。EATON NOVA/AXCELIS GSD 200 E2还提供多种诊断功能和数据记录和分析选项。这使技术人员能够更快、更准确地识别和排除他们在离子注入过程中可能遇到的任何问题。总体而言,GSD 200E-2是一种精密、可靠且高效的离子植入器和监控器,可为高科技半导体生产的需求提供精确度和可靠性。
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