二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E2 #293597564 待售

ID: 293597564
晶圆大小: 8"
优质的: 2004
Medium current implanter, 8" 2004 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E2离子植入器和监控器是一种工业级植入器/监控设备,能够在广泛的能量范围内输送精确剂量的植入离子。它能够植入能量范围从1meV到10keV的离子,其范围比大多数其他系统要广泛得多。Eaton具有高度的可靠性和安全性,非常适合需要精密离子植入和监控的应用。Eaton AXCELIS GSD 200E-2采用强大的能量分析仪设计,使其能够精确计算每一个植入的离子束的能量。分析仪的工作原理是测量一束离子束的载流电阻,使系统能够确定其精确的能级。此外,EATON NOVA GSD 200 E2还配备了离子束电流监测器,可在运行过程中连续测量离子束电流。这允许用户监控和调整电流,以便优化离子植入的过程。EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E-2具有先进的光束稳定装置,可确保目标植入深度的光束传递一致可靠。该机利用一系列磁体创造出均匀的离子束形状,确保了植入离子的均匀性得到改善。此外,该工具能够自动校正因环境或材料变化而可能发生的工艺偏差,保持一致的剂量控制。AXCELIS GSD 200E2还配备了一个高性能的机器人晶片处理程序,使其能够快速准确地处理晶片。该机器人设计用于高速移动晶片,最高可达30个芯片/分钟,最大限度地减少加工时间,提高吞吐量。此外,机器人还配备了自动对准资产,可确保离子束在指定的植入位置自动对准,从而使用户能够获得可重复的结果。总体而言,AXCELIS GSD 200 E2是一种可靠准确的离子植入器和监控器,可以处理广泛的植入能量。它的高级功能使用户能够在所需深度获得精确剂量的植入离子,并且可以被信任地提供一致的、可重复的结果。Eaton Eaton NOVA GSD 200E2具有很高的可靠性、安全性和效率,是任何需要精确离子植入和监测的应用的绝佳选择。
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