二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E2 #293801979 待售

EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E2是为半导体及相关应用而设计的高剂量高效离子植入器和监视器。它是一种多光束、多孔径离子源，能够实现亚微米特征尺寸的高精度、可重复掺杂。它提供了比常规植入物高10倍的剂量率和大于过程均匀性的5倍。AXCELIS GSD 200E-2采用AXCELIS专利的电子折射光束光学设备，以高精度和重复性提供卓越的植入物均匀性。该系统接合来自多个不同方向的电子束，以提供跨样本量更均匀的均匀剂量场。它还使用先进的磁场单元进行均匀的束能量分布（BED）。EATON NOVA GSD 200 E2是一种高精度植入器，能够以最小± 2.5%的相对峰值剂量均匀度和10mm x 10mm的短光束窗口植入。它具有高达150 mm x 150 mm（可选200 mm x 200 mm）的标准工艺窗口。它还可以配置为最多使用5个光束,并且最高可运行50kV个光束。机载监控机使操作员能够监控植入进度。现有各种诊断工具，如实时绘制光束位置和焦点不对称图、光束电流和能量监测。此外，最多可以将四个外部摄像机和射频探测器连接到机器上，以检测任何异常或不规则性。AXCELIS GSD 200 E2还提供了广泛的安全功能,例如自动安全关闭工具,在发生故障时可以安全地禁用机器。此外,还会记录所有用户输入和机器设置,以供将来参考。这确保了未来应用程序的精确和可重复安装。总体而言，GSD 200 E2是半导体应用的理想离子植入器和监控工具。其高剂量率、精确和可重复的过程、全面的监测资产和先进的安全特性确保了亚微米特性尺寸的可靠和安全的掺杂。