二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E2 #293814956 待售

EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E2是一种离子植入器和监视器,可用于半导体器件制造的精确离子植入和监视器控制。该设备具有高温集成离子源、高真空束传输、两个超高灵敏度传感器和集成多束互锁（MBI）系统。这种离子植入器的设计方便了半导体器件的精确可靠的生产，非常适合微电子和宏观电子器件的大批量生产以及研发。AXCELIS GSD 200E-2离子植入器和显示器提供高效、精确和可靠的生产与广泛的可用植入设置。它利用高温集成离子源，可将包括硼、磷、砷和其他掺杂剂在内的各种离子加速至高能，同时在各种剂量下保持其最佳能量。这促进了广泛的应用，如结点深度或浅结点的精确植入，掺杂元素的精确和精确溷合，以及载体的精确和精确溷合。离子植入器和监视器具有两个超高灵敏度传感器,即"TRIO"和"Quadrate",可精确感测和控制光束的位置、大小和能量。这两个传感器提供了卓越的分辨率和准确性，即使暴露在高能粒子，同时对焊接辐射的抵抗力。集成的MBI单元确保所有植入步骤，如光束焦平面对准和稳定，以一致和可重复的方式进行，确保出色和可靠的设备性能。EATON NOVA GSD 200 E2提供全面的数据采集功能,允许对光束进行通用分析和记录,并对植入参数进行分析和报告。它还具有自动化过程控制机器和自动反馈控制功能，可实现高效、准确和可重现的植入过程。该工具还提供诊断和报告功能,以及集成的开关和电源控制。总体而言,EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E-2离子植入器和监视器是生产半导体器件的绝佳且用途广泛的资产。它提供高效、精确和可靠的植入过程，具有广泛的可用设置。它也具有很高的可靠性和耐用性，能够处理各种各样的不同离子。因此，AXCELIS GSD 200 E2是制造微电子和宏观电子器件的理想选择。