二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E2 #293815735 待售

EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E2
ID: 293815735
晶圆大小: 8”
优质的: 2018
High current implanter, 8" 2018 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E2是一种高性能的离子植入器和监视器。它专为低能量植入物操作而设计,具有高达4千瓦光束电流的高能量操作能力。该机配备了大量的控制系统和算法,以确保植入材料的精度和准确性。AXCELIS GSD 200E-2配备了多轴行进离子束(TIB)组件,可快速、高精度地扫描晶圆表面并将离子植入目标材料。该系统可以数字化操作,提供非常准确和均匀的剂量,具有高剂量稳定性和重复性。通过主动束电流控制和稳定器进一步增强离子束,确保最大精度。EATON NOVA GSD 200 E2是一个用户友好型系统,具有图形用户界面(GUI),提供进程参数和数据的实时显示。这样可以方便地监测和调整植入过程。此外,机器还配备了保护用户、设备和被植入产品的大量安全功能。GSD 200 E2还配备了一系列质量控制选项,包括横截面离子束扫描显微镜、光谱分析、能量和地形测量。这套选项对于优化机器所提供结果的质量以及对植入样品的质量保证和监测非常重要。总体而言,AXCELIS GSD 200 E2是一个强大而有效的工具,用于低能量和高能离子的植入和监测。其高功率输出和质量控制特性使其成为工业加工应用的理想选择。其用户友好的GUI和安全功能提供了一系列安全可靠的选项,可以优化离子植入过程并提高一系列材料的准确性、均匀性和可重复性。
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