二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD Classic #9243444 待售
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ID: 9243444
晶圆大小: 5"
优质的: 1996
High current ion implanter, 5"
Gas options:
Gas1: PH3 SDS
Gas2: ASH3 SDS
Gas3: BF3 SDS
Gas4: AR HP
Ion source: Bernas ion source (No vaporizer assembly)
S Control DI
Filament PS
Arc PS
Extraction HVPS
Suppression PS
Terminal PD DI
Analyzer magnet PS
Source magnet PS
TC Control DI
Gaussmeter / Probe
High voltage stack
EBARA AA10 Source rough pump
Accel HVPS
Accel supression
Accel HV stack
Robot control DI
Wafer transfer
Loadlock controller
Electron shower PS
Electron shower assembly
Cryo pumps (P2,9): (2) CTI Torr 8 and (2) Torr 10
Cryo compressors: CTI (2) 8200 and (2) 9600
EBARA AA70 Roughing pump (RP2)
CELL 133 Cell controller
(4) Cassette tables
Load buffer
Vacuum cassette
Dummy buffer
Cassette stand
LCD Monitor
Sun workstation
Rotary drive motor: Belt drive
Rotary drive DI
HCIG Controller
Flat aligner
Main power: 50 kVA, 208 V, 3-Phase, 5-Wire, 50 Hz
1996 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS GSD Classic离子植入器和监视器是一种设计用于将离子植入半导体材料的高性能扫描设备。这种强大而严格的装置利用电子捕获（ECD）技术，精确控制正在植入半导体材料中的离子的剂量和浓度。准确到0.1%以内,确保对材料进行适当处理以用于预期的应用。AXCELIS GSD Classic显示器具有32位彩色液晶触摸屏,便于查看数据。图形用户界面（GUI）设计方便；它的用户友好菜单提供对设置的快速访问,并允许操作员自定义监控过程以满足其特定需求。该设备具有可移动存储设备,便于数据管理。EATON NOVA GSD Classic离子植入器和显示器是为低维护操作和高效操作而设计的。该装置配有高性能加速器，能够在传统程序所需时间的一小部分内进行精确的植入操作。它的设计也是为了安全起见，设有防辐射外壳和详细的振动监测系统，提醒操作员注意任何过大的噪音或温度峰值。GSD Classic离子植入器和监视器是目前市场上最先进的同类系统之一。对于需要精确度、速度和可靠性的半导体公司和实验室来说，这是一个极好的选择。高质量的组件和可靠的性能使其成为几乎任何项目的宝贵工具。
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