二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD-HE #9262470 待售

EATON NOVA/AXCELIS GSD-HE是一种离子植入器&监控器，用于将电离粒子植入/溅射到基板中，用于半导体、MEMS和其他电子器件制造等各种应用。它将Eaton和AXCELIS的最佳功能结合在一个通用且高效的单元中。AXCELIS GSD HE利用电磁透镜将电离粒子精确输送到基板上。这使得该单元在精确输送离子的同时，还能控制其能级。它还使用6级高压进料，将离子剂量配置和控制到特定的应用要求。该装置采用操纵杆控制器和3级显示设备，易于控制植入物和监控参数。EATON NOVA GSD/HE提供了多种功能,可确保最佳性能,如用于优化温度稳定性的温度控制真空系统、用于微调角度调整的入射角（AOI）单元,以及一系列离子源配置可根据应用进行选择。其他功能包括离子电流监视器、离子能量监视器、底物温度监视器、氧气传感器和光束位置对准机。此外，EATON NOVA/AXCELIS GSD/HE设计了一个尖端的血浆控制工具，以最大程度的植入均匀性和重现性。它还具有注气资产以达到最佳真空条件，以及多通道信号处理器以监测各种参数和优化工艺效率。为了确保连续和一致的过程，EATON NOVA GSD HE配备了多种电路，包括一个计算机化的数据采集模型、一个电源、一个电源监视器和一个脉冲高度分析仪，可以检测粒子速度和能量信息。总体而言，EATON NOVA GSD-HE是一个可靠且用途广泛的装置，在植入/溅射时提供精确度和准确性。它是从半导体制造到MEMS到其他电子器件制造等应用的理想选择。GSD-HE具有强大的功能,可提高产品的生产效率、效率和统一性。