二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD UHD #9094928 待售

EATON NOVA/AXCELIS GSD UHD是由Eaton Corp. AXCELIS GSD UHD开发的一款超高剂量离子植入器/监视器，建立在Eaton创新、经验证的高电流源技术之上，提供业界最大离子束电流和剂量生产率。EATON NOVA GSD UHD兼具离子植入器和监视器，为低能量和高能量植入物提供经济高效的解决方桉。GSD UHD可以精确控制高能离子植入的剂量、电流、束轮廓。这允许用户精确定制离子植入过程，以满足当前设备技术的严格要求。EATON NOVA/AXCELIS GSD UHD监视器以高度精确的离子束电流读数，以及其位置，连续监控植入条件。结合了AXCELIS GSD UHD植入器和监控系统，为用户提供了尽可能准确的植入参数控制。EATON NOVA GSD UHD离子植入器配备了革命性的高电流源，在离子能量上提供高达1mA和更大的光束电流能力3keV。这样可以精确、精确地处理各种具有最高精度和可重复性的基板和设备。GSD UHD植入器还具有广泛的气体和端站选项，允许用户进行电子束热处理，溷合氮化物和氧化物薄膜堆栈，并将基板退火。EATON NOVA/AXCELIS GSD UHD显示器通过其内置的高分辨率多通道信号处理器,为用户提供对关键处理参数的实时访问。这允许用户在植入过程中精确控制光束电流、光束轮廓和光束能量。它还为用户提供重要信息，如剂量均匀性、总剂量和离子电流，用于植入物参数的事后分析。AXCELIS GSD UHD离子植入器和监控系统为用户提供了市场上最可靠、最精确的离子植入性能，为当今最先进的处理要求提供了经济高效的解决方桉。凭借其强大的功能集，EATON NOVA GSD UHD代表了最好的inan植入器和监控系统。