二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD #9103073 待售

EATON NOVA/AXCELIS GSD是由Eaton AXCELIS Pte创建的离子植入器和监控设备。Ltd.这套系统是专门为了将硼、磷、砷等高能离子植入各种应用的材料而设计的，例如半导体製造和先进的材料加工。它能够施加高达7 mesaVolt的植入物能量，并支持一系列直径可达14英寸的基材。该装置采用直接气体替换机，提高了离子束的稳定性和均匀性。AXCELIS GSD提供了一组强大的功能来增强用户的工作能力。它包括一个气流输送工具，利用双离子源配置为两个离子物种。这允许用户独立控制离子的数量，以提高光束的均匀性和质量。该装置配备了先进的监控功能，如四通道离子源温度控制和光束定位，从而能够更严格地控制光束参数。还提供了保护性歧管，以帮助避免样品过度电离。该资产还具有自动光束定心和闪烁模型，有助于进一步提高离子束的均匀性。该设备还具有具有会话软件的功能齐全的数据采集系统，使用户能够准确监控植入过程参数并根据需要进行调整。此外，该单元还有一个集成的数字信号处理机器，可以帮助尽量减少样品持续电离或与机器有关的错误和不规则性。最后，所配备的扫描电子显微镜使用户能够观察光束和基体以及植入过程的影响。EATON NOVA GSD是一种高度先进、可靠且用途广泛的离子植入和监测工具。它的双离子源配置、自动波束定心和闪烁、数据采集以及数字信号处理系统为用户提供了对植入过程无与伦比的控制。此外,保护歧管、集成扫描电子显微镜以及四通道离子源温度控制和光束定位为用户的植入工作提供了更高的安全性和准确性。综上所述，GSD是寻找先进离子注入和监测资产的理想选择。