二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD #9115127 待售

EATON NOVA/AXCELIS GSD是一种离子植入器和监视器，用于将离子植入基材中。它由一个离子源和一个底物材料放置和植入的末端组成。离子植入过程通过向材料中的分子引入电荷，以及潜在地向基材中引入材料元素和化合物来改变基材的性质。AXCELIS GSD使用热蒸发器、电弧源和钛升华器的组合作为离子源，以及氢中性质谱仪来检测和监测植入样品材料中的离子。植入区的直径可以利用构型控制特性来控制，以提供离子在整个基材上的均匀植入。EATON NOVA GSD还有一个扩展的控制设备，允许远程控制植入参数。这允许操作员从远程位置密切监视进程。控制系统还提供离子束的精确控制，以确保植入参数的精度。除了延长控制单元外，GSD还包括安全功能，如用于在植入过程中保证安全气氛的空调机。该工具还降低了基材被污染的风险，为植入过程提供了最佳环境。EATON NOVA/AXCELIS GSD已被用于半导体工业中，以改变製造过程中所使用的基材的性质。它也被用于医疗和航天工业中，将离子植入材料中，以增强强度或引入电或隔热特性。此外，AXCELIS GSD监测器在科学研究中被用作分析离子植入对某些材料影响的工具。总体而言，EATON NOVA GSD是一种创新而强大的离子植入器和监控器，用于将离子植入多种基材中。它通过其精确的控制系统提供了高度精确的植入过程，并具有确保安全和成功的过程所必需的所有安全特性。GSD具有广泛的应用和特点,是工业和研究实验室的宝贵工具。