二手 EATON NOVA / AXCELIS GSD #9210440 待售
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ID: 9210440
晶圆大小: 6"
Ion implanter, 6"
Energy: 160 keV
(17) Batch wafers
Utility configuration:
Tool specification:
Line power:
Input power: 208VAC, 3 Phase, 60Hz, 130A, 42kVA
Output power: 160KeV, 20mA
Utility gas:
Name / Connection type / Size
CDA / SWAGELOK / 3/8” SUS Male
Ar / SWAGELOK / 3/8” SUS Male
PN2 / SWAGELOK / 3/8” SUS Male
GN2 / SWAGELOK / 3/8” SUS Male
Gas box N2 / SWAGELOK / 3/8” SUS Male
Exhaust:
Qty / Description / Type / Flow rate (CFM) / Size / Exhaust hood
(2) / Environments / GEX / 500 / 4", PVC / Y
(1) / Cryo pump / SEX / 40 / 1", SUS / Y
(2) / Gas cabinets / SEX / 600 / 2", PVC / Y
(2) / RP Exhausts / SEX / 100 / KF-40, Clamp / Y
Cooling water:
Description / Pressure (PSI) / Flow rate (GPM) / Temperature (°C) / Size
City water / 100 / 20 / 25 / 1", SUS, Clamp
DI Water refill / Manual / Manual / - / 1", PVC, Clamp
System configuration:
End station module:
Notch / Flat finder: Flat
Cassette type: Standard
Dummy cassette
Load buffer
Vacuum cassette
(4) Cassette tables
Cell controller
Loadlock type: GSD100/200
Process module:
Disk: NV-GSD
In-vac arm
Wafer holder
Pedestal
Gyro: NV-GSD-100
Linear drive
Belt drive
Beamline type: GSD 200
Maximum extraction voltage: 160KeV
AMU: Axcelis
Source module:
Source head: IAS
Filament PS: EMI EMS 10-60
Arc PS: EMI EMS 150-7
Source magnet PS: EMI EMS 40-25
Source bushing
Source injection: MKS 1640
Vacuum system:
P1 / Source turbo: STP-A2000C
P2 / Resolving cryo pump: CTI
P3 / V3 Cryo pump: CTI
(3) Ground bars
Sub-systems:
NESLAB HX-150
CTI 8300/8500
1994-1995 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS GSD是为高通量离子植入应用而设计的离子植入器和监视器。可用于加工多种材料，包括半导体、陶瓷和薄膜。该设备运行在一个专有的软件包，AXCELIS GSD植入软件，这使得灵活和优化的过程控制。植入过程由一个二极管加速，能够高能传递，而一个12向光束线使得多种植入物种/能量可以独立使用。它具有410毫米方形晶片卡盘和固定腔室架构,可实现高吞吐量操作。通过测量离子电流、压力、温度、气流和晶圆位置的传感器对该过程进行监测。该设备还集成了先进的诊断和反馈控制系统，能够快速准确地测量关键过程参数。此外，植入后审查和过程优化的分析工具作为软件包的一部分包括在内。EATON NOVA GSD智能控制系统优化植入，减少周期时间，最大限度降低总成本，确保植入精度达到最高水平。为确保过程操作过程中的安全,该设备具有多种安全系统,包括用于检测泄漏的安全联锁和警报。其模块化布局还可以方便安装、操作和维护。这一通用系统用于医疗设备、航空航天和汽车零部件等工业市场，并用于研发目的。它为研发工作和大批量制造提供了一个极好的平台。
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