二手 EATON NOVA / AXCELIS HC3 Ultra #9411352 待售
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ID: 9411352
Ion implanter
YASKAWA Robot
YASKAWA XU-ACL4140 Robot track
Disk type: Variable Speed Drive (VSD)
Wafer transfer type: In-Air
Dry transformer
HYT
Vacuum ARM: CAM Arm
(3) CTI-CRYOGENICS 250 F (On-board) Cryo pumps
(2) CTI-CRYOGENICS 9600 Compressors
Shower type: P-Shower 11020020
Cell type: V6
BROOKS AUTOMATİON Fixload load port
Spare parts:
Part number / Description
1187286 / Disk TC DI Cryo interlock
11053210 / Cell controller V6
11049380 / Scan controller
11054580 / Wafer transfer controller
11054560 / Load lock controller
1195730 / Rotary drive controller
11028010 / Rotary drive amplifier
XU-BCD3111 / YASKAWA Robot driver box
XU-CN0821 / YASKAWA Robot controller box
11050220 / Power dose controller
11017920 / Gas box controller
110000950 / Source controller
1214110 / Filament PSU
1214120 / Arc PSU
1214130 / Cathode PSU
1188151 / Terminal beam line DI
1163967 / Ground electronic DI
1163960 / Ground electronic DI
1195140 / Disk VAC DI
1188310 / Electrode manipulator DI
1214460 / Plasma filament PSU
11020020 / Plasma controller
110098500 / 100101530 / Rotary driver brake controller
2100276 / Source magnet PSU
1188375 / Terminal electronic DI
2200176 / Decal PSU
2200173 / HV PSU Extraction suppression
2200173 / HV PSU Decal suppression
11054570 / Gyro controller
11034940/ 2200175 / AMU PSU (Power ten)
2200187 / Extraction PSU
1196510 / Gyro ball screw assembly
1196610 / V43
1908930 / Air interface
1908940 / Air interface
110001490 / Wafer holder assembly
11030960 / CAM Arm assembly
110002530 / V3 Assembly
11047650 / V7
2014 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS HC3 Ultra是一种高度精密的离子植入器和监控设备,旨在满足现代离子植入应用的需求。该工具具有能加速离子高达50 KeV的高电流离子源、多级可拆卸真空室、自动制图系统和健壮的控制包。AXCELIS HC3 Ultra对于在有源微电子、电介质和基板中形成优质层特别有利。EATON NOVA HC3 Ultra使用静电浸没透镜单元，以确保一致的离子束指向目标区域。这台机器还使用户能够精确调整离子束的形状，以及它的大小和扩散。此外，HC3 Ultra包含一个多级可拆卸真空室，有助于维持稳定的离子注入过程环境。EATON NOVA/AXCELIS HC3 Ultra还具有先进的用户友好界面。其直观的图形用户界面使用户能够完全监控工具，并调整离子源电流（最高50 KeV）等参数来控制过程。该软件还帮助用户调整离子的束形状和能量扩散。此外，用户能够在植入程序之间进行选择和切换，以及存储自定义气体溷合物。AXCELIS HC3 Ultra包含许多其他创新功能。例如，它的自动模式化资产使用户能够使用预先选择的植入能量和剂量对基板进行图样化。它还具有独特的移位寄存器,允许用户进行增强的逐层植入过程。EATON NOVA HC3 Ultra是一个理想的离子植入器和监控那些从事先进的植入过程。其高电流离子源、多级可拆卸真空室、自动化模式模型、用户友好界面，使其成为实现快速准确植入效果的最佳工具。而且，其独特的移位寄存器和可调节的横梁形状和展平特性为用户提供了广泛的制图和打造高品质层的选择。
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