二手 EATON NOVA / AXCELIS Interface module for 8250 #293587301 待售

ID: 293587301
晶圆大小: 6"
6".
EATON NOVA/AXCELIS 8250 Ion Implanter&Monitor是一种计算机控制设备,设计用于将离子输送到基板中,以提高材料和组件的性能。AXCELIS 8250包括三个主要组件:离子植入器、显示器和控制器。离子植入器负责在基板上提供所需的离子束电流和束质量。这是通过使用高真空环境、野外发射枪和质谱仪实现的。然后使用监视器通过记录光束电流、能量及其在基板上的分布来监测离子束的性能。最后,控制器是一个集成设备,提供对离子植入器,监控和各种安全系统的控制。在EATON NOVA 8250的中心是一条高能束线,它将离子加速到所需的能级,并将其引向基板。这是通过控制光束电流、能量及其分布的高压电源完成的。此外,保持高真空环境,以防止表面污染物对离子造成任何损害。为了进一步提高8250的功效,它可以配备一个二次电子倍增器,对束电流和能量分布提供更大的控制。此外,离子捕获磁体被用来引导光束,而卤素灯被用来产生最佳的光束轮廓。EATON NOVA/AXCELIS 8250还配备了一系列辅助系统和装置,如离子源预喷射器、感应弧室和离子束监视器。离子源预喷射器用于在将离子束注入植入器腔之前制备离子束。感应弧室用于增强光束轮廓,而离子束监视器用于检测任何光束中断。AXCELIS 8250还配备了包含视频显示和音频报警单元的自备安全系统,以及在紧急情况下关闭电源的断路器。最后,EATON NOVA 8250 Ion Implanter&Monitor是一种先进的设备,用于通过将离子植入基板来改善材料和组件的性能。8250配备了高真空环境和一系列部件,如野战发射枪、质谱仪和感应弧室,并通过增加安全性的安全机器进一步增强。而且,先进的控制能力赋予了用户精确控制设备性能的能力,让他们取得了更好的效果。
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