二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 10-160 #293821332 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 10-160是一种先进的离子植入器/监视器，用于将离子植入各种底物，以提高其性能。这台机器被用于半导体制造业，可用于将各种离子植入基板。AXCELIS NV10-160具有强大的离子源和可调束参数，使其能够在精确控制的情况下将离子植入基板中。EATON NOVA NV 10160装有10厘米x 160度离子束。这使得它可以在x轴中以每100毫米+/-10微米的精度和y轴中+/-1度的精度植入离子。此外，它的投影长度高达15厘米，使它能够在更大的距离植入离子。离子源能够在高达5千伏的电压下产生高达1.6A的电流，从而产生高达32mA/cm2的光束电流密度。这样可以确保基板均匀地植入离子，从而使设备性能更好。EATON NOVA NV10-160也与各种监测系统相结合。其离子束位置监控设备（IPMC）能够以x轴+/-1微米、y轴+/-1度的精度测量和微调光束位置，使用户能够准确地植入离子。此外，其光束电流和强度监测系统能够测量和控制光束电流和强度，确保离子均匀植入基质中。EATON NOVA/AXCELIS NV 10160的电子控制单元采用多页图形用户界面（GUI）设计。这允许用户快速修改离子植入参数，使他们能够优化他们的过程周期时间。此外，它还提供各种安全协议和多种保护措施，确保用户安全地控制离子植入过程。总体而言,EATON NOVA/AXCELIS NV10-160是一种先进的离子植入器/监视器.它具有一个离子源和可调束参数，使其能够植入离子精确控制。再者，它与各种监控系统集成，让用户优化流程周期时间，确保用户安全。