二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 10-160 #9358247 待售

Eaton/NovaEaton NOVA/AXCELIS NV 10-160离子植入器和监控器是一种半导体制造装置，用于控制集成电路和其他半导体器件制造中离子植入的深度和分布。它融合了高压直流发电机、电源和真空系统，以及GaAs、PFC、XeCl等广泛的离子源。这台机器能够植入高达160万伏的离子，提供高度的精度和控制。该机配备自动振荡快门系统，控制撞击半导体材料的离子的光斑大小和深度，源对目标距离可达1.25米。这使使用者能够精确控制植入基质中的剂量、能量和离子种类。这对于制造过程中适当的掺杂控制和轮廓控制至关重要。该机器有一个内置的离子束监测器和一个数字读数，可以连续测量每种离子种类的浓度和离子源离子浓度的变化率。每次植入时还测量离子电流，给出植入过程一致性的实时状态。该监视器还能够测量基材中植入层的电阻率，以确保达到所需的电阻率值。DV 10-160还配备了计算机控制装置，用于装卸晶片和离子，以及监测工艺参数。软件包还包含一个独立的验证系统，允许用户在植入前后检查每个晶片的参数设置，从而允许在生产过程中进行高度的质量控制。此外，这台机器还配备了机械夹具，用于在植入过程中固定基板和之后的目标材料，确保两者的精确放置和定向。这进一步提高了植入过程的精度和精确度。Eaton/NovaAXCELIS NV10-160离子植入器和监测器是半导体制造过程中不可或缺的一部分，提供了对掺杂型材、电阻率和植入物剂量的最佳控制，以及辅助质量控制和生产过程。