二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 10-80 #9183991 待售
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ID: 9183991
High current ion implanter
Standard beam controller
Kaiser HVPS
Bernas ion source
With AT4 autoloader (*non-functional)
Includes data flow option
SDS and high pressure (SDS B11 and PH3)
High pressure Ar
6” Clampless (150 mm Set up)
Vac exchange arm
(2) Disks
80 KeV Max
Kaiser high voltage power supply
Vaporizer: Yes
Cryo pumps: (2) CTI 8 standard + compressors
(4) Gas high pressures
Disk exchange arm type: Vacuum
Analyzer power supply: EMI Type
Pumps: (2) LEYBOLD D40 B (RP3, 4)
Electronics (CPU Software / PCB Type):
Vac controller: VAC 733 (101 MB)
Dose controller: 796 Rev. E (101 MB)
AMU Controller: AMU618 C (101 MB).
EATON NOVA/AXCELIS NV 10-80是一种离子植入器&监视器，旨在提供可靠准确的脉冲离子植入。它有一个专利，优化的光束线设计，自动化和精确控制。该设备具有先进的波束控制模块和过程控制软件，能够在不同的过程条件下实现高效的气流控制、位移控制和波束电流调节。该系统还具有紧凑、节省空间的设计，允许开箱安装和设置。AXCELIS NV 10-80由于其优越的光束特性，如脉冲速率、脉冲形状、脉冲持续时间和脉冲电流，提供了卓越的离子注入性能。它具有很高的植入效率，可以减少晶圆中未植入离子的数量，从而提高产量，降低成本。该装置还具有专有的实时植入物自我诊断功能，可以在植入前或植入期间检测光束的不规则性。EATON NOVA NV 1080配备了完全集成的监控、测量和控制功能。机器的监控面板显示所有重要信息，包括速率、压力、剂量、电流和植入物位置。该工具还具有自动腔室、光束和晶圆扫描功能，以及晶圆旋转、聚焦和对准功能。这使得用户能够精确控制植入剂量，优化束参数。NV 10-80使用简单灵活，可供经验层次广泛的操作员使用。它是一种经济高效的生产解决方桉,具有高水平的过程可控性、生产率和大中型应用程序的产量。资产也易于维护，可以提供长期可靠性。AXCELIS NV 1080旨在满足最高的安全性和质量标准,并且可以长时间保持高性能。它符合HAS标准,在质量、安全和可靠性方面符合最严格的行业标准。
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