二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 10 #9036797 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 10是一款用于半导体器件制造的高性能离子植入器和监视器。它是一个先进的分析平台，旨在精确监测过程参数，并以极高的精度植入单个离子。最先进的内置控制功能允许操作员快速设置和维护一致的植入过程。此外，还可用于对植入的离子、频率、浓度和分布进行即时分析。AXCELIS NV 10的关键部件包括一个移动植入头的精确控制、高精度、三轴直线电机平台，允许超高精度和分辨率。配有主动分析室，用于测量离子注入速率、光束光斑大小、离子质量和能量，以验证工艺结果。其反馈设备有助于在各种条件下保持植入过程的恒定。EATON NOVA NV 10还包含一系列高级功能,用于监控和记录植入物头部相对于样品的相对位置变化。这允许用户优化精度精度和可重复性。它还包括一个离子测量系统，提供对离子植入速率、光束光斑大小、离子质量和能量的实时测量。NV 10有一个自动化的晶片处理单元，允许快速高效地植入多个晶片以提高吞吐量。自动化机器最多可支持四个晶片盒式磁带,能够快速或在操作过程中更换植入物样品,而不会中断该过程。总体而言，EATON NOVA/AXCELIS NV 10是一款功能极其强大且精确的离子植入器和显示器。它是为具有挑战性的过程而设计的，需要稳定和精确地控制植入工具和过程参数。该资产易于使用，为植入过程提供了极好的准确性和稳定性，使其可用于多种应用。