二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 1060 #9013660 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 1060是一种离子植入器和监测器，用于精确控制半导体制造过程中离子的沉积。AXCELIS NV 1060具有创新但简单的设计，使得它比其他类型的植入器更能实现对离子沉积的控制。EATON NOVA NV 1060由安装在可以移动到不同位置的导轨上的转塔组件组成。炮塔装有两个离子源（一个用于低电流，一个用于高电流）和一个用于离子源电压和功率水平的控制系统。炮塔还包含一个磁力计，向离子源提供反馈，以确保其精度和一致性。NV 1060使用射频溅射技术将离子沉积到基板上。它能够根据电压和其他参数产生各种剂量，以满足应用程序的特定要求。EATON NOVA/AXCELIS NV 1060可以提供高达5 AM的剂量，而其他一些类型的植入物只能达到几个100 kV。AXCELIS NV 1060具有自动监控系统,该系统不断向主机计算机发送数据以跟踪植入过程的进度。可以分析这些数据以确保离子剂量一致。EATON NOVA NV 1060内置了多种保护功能,以防止过压和其他可能损坏敏感组件的情况。NV 1060还具有触摸屏和直观的用户界面,允许用户快速对每个植入过程进行更改和调整。界面可以显示显示植入过程进度的图形和图表，并允许用户轻松访问植入程序的所有参数。总体而言,EATON NOVA/AXCELIS NV 1060是一款功能强大且可靠的离子植入器和监视器,专为实现准确性、控制和用户友好性而设计。它的多功能性和耐用性使得它成为半导体制造商的热门选择，他们要求在很长一段时间内保持一致和可靠的精确沉积速率。