二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 3206 #9105737 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 3206离子植入器和监控器是一种中等容量的设备，设计用于高精度离子植入和半导体器件制造。它有一个串联质量分析仪，一个专利的"三窗"技术，确保植入精度和可重复性从基材到基材。显示器提供了广泛的植入率，最多四个光束可以同时工作的高精度放置任何类型的可植入材料。AXCELIS NV 3206是制造半导体元件（包括电子和光子器件）以及微机电系统（MEMS）的理想选择。它配备了1,000安培每厘米平方束电流额定值和植入器剂量率能力高达90微安每厘米平方，质量精度小于百万分之一。该设备的计算机控制用户界面允许精确的用户定义植入程序，其中包括植入参数，如剂量、能量、频率和斑点大小。该系统还包括一个离子束提取单元，旨在最小化背景粒子计数，并在各种植入运行中提供尽可能高的可重复性。该监视器具有高精度的光束移位功能,可实现广泛的能量和电流组合,从而实现高精度的离子植入操作。此外，该机的高带宽E场控制具有两种优化的E场配置文件的选择和基板分级的可变极性模式。EATON NOVA NV 3206是一个可靠、通用的工具，用于优化生产和原型植入的性能。其离子源设计减少了停机时间，提高了总体产量。它还具有惯性稳定的光束传输资产,可确保光束纯度并提高设备的成像性能。该监视器具有内置的监控和诊断功能,可快速准确地反馈和分析植入操作。