二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 6200 #293759187 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 6200是一种离子植入器和监视器，设计用于晶圆掺杂和其他半导体制造工艺。它是一系列先进的离子植入系统中的最新产品，旨在为半导体行业中的行业提供多种选择。设备的核心是获得专利的"NEON-Laser"。这种先进的类似激光的高能光束通过一系列透镜聚焦，提供受控的离子植入过程。该光束能够以高达2,500kV的能量输送广泛的离子种类，包括氙气、氧气、氮气和氙气。这允许用户根据各种器件过程的具体要求，包括晶体管、放大器或内存电路，选择一系列掺杂水平和量身定制掺杂过程。AXCELIS NV 6200配备了几个附加功能，以提供对离子植入过程的更大控制和监控。其中包括确保1nm或更高精确植入分辨率的高精度对准系统、控制被植入离子种类能量和数量的350轨可编程控制器以及确保准确植入速度的真空压力监测仪。此外,EATON NOVA NV 6200还设计了内置诊断单元,用户可以根据需要检查操作状态、诊断故障并确定需要改进的区域。此外,离子植入器和显示器还配备了一系列外围设备,如5轴电机驱动的机械手、条形码标签器、操作日志打印机和一系列通信端口,使机器能够与其他设备进一步集成。为确保最佳性能,NV 6200具有易于使用的触摸屏显示屏和直观的用户界面,具有很高的可用性。这允许用户在需要时快速配置工具、监视流程流以及重新安排和/或修改配方。此外,资产还提供了广泛的性能监控工具,包括用于分析和评估产量和吞吐量的过程诊断。总体而言,EATON NOVA/AXCELIS NV 6200是一款功能强大且可靠的离子植入器和显示器,设计用于整个半导体行业的工业过程。先进的功能、直观的用户界面和可靠的性能使AXCELIS NV 6200成为许多应用领域的理想选择。