二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 6200 #9013661 待售

AXCELIS 6200是一种离子植入器和显示器，设计用于在半导体制造过程中将掺杂剂植入半导体基板上。该设备以1.5 x 10^7 cm-2 sec-1的最大剂量速率进行离子植入，可用于植入多种材料，包括硼、砷、磷、铝等材料。EATON NOVA 6200配备了一个计算机化的控制装置，能够精确控制所有参数和设置，并能够实现全面的性能监测系统。EATON NOVA/AXCELIS 6200由两个相互连接的单元组成-离子源和加速器。离子源负责产生所需物种的离子，可以配置成产生带正电或带负电的离子。加速器用于增加离子的能量，使其在植入过程中能深入到基质中。这种加速器利用电磁场来增加离子的速度。AXCELIS 6200能够将浅（小于1微米）和深（大于1微米）的植入物植入最大剂量为5E15原子cm-2的基质中。还配有集成冷却装置，保证使用寿命长。这台机器能够在50毫秒的循环时间内处理直径达200毫米的晶片。其精确剂量均匀度测量为+/-0.5%。EATON NOVA 6200还设计用于数据通信,使其能够连接到客户的网络。该工具与Windows、Macintosh和Unix操作系统兼容，也可以远程监控。用户可以访问所有可用的参数和设置,从而可以完全控制植入过程。此资产还提供图形用户界面,提供全面的监控和报告。EATON NOVA/AXCELIS 6200是一种极好的工具，用于浅/深植入、接触孔和小晶片上植入等应用。该型号用户友好,可轻松集成到客户现有的半导体制造生产线中。