二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 6200A #293628042 待售
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ID: 293628042
晶圆大小: 6"
优质的: 1990
Implanter, 6"
Energy: 5 to 200 kV
Accel PS: 180 kV
Extraction: 20 kV
Neutral gas: Argon
Hot source with oven
(3) Gas box lines with mass flow
(2) External gas box lines
Extraction housing
Magnet range: 125 Standard voltage
Dose uniformity and repeatability: 1 σ < 0.5%
Type: Dual platen, continuous through put, cassette to cassette
Fully automatic, pick and place
Throughput: 250/hr
Wafer tilting: 0 To 10°
Wafer orientation: 0 To 360°
Wafer breakage: Less 1 wafer out of 20000
Cooling water: 3 GPM with 80°F
Input temperature: 30 - 60 PSI
Compressed air supply: 90 - 125 PSI
Dry nitrogen: 60 - 70 PSI
Heat dissipation:
Air: 16750 BTU/hr
Water: 49000 BTU/hr
Exhaust air volume:
Gas box: 300 CFM (minimum)
H.V Terminal: 300 CFM (minimum)
Power: 24 kVA, 208 V, 3 Phase, 5 Wire, 50/60 Hz
1990 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV 6200A是一款先进的离子植入器和监视器,其创建目的是为了提供高度精确、精确和可靠的离子植入处理。这使得用户无论离子种类、剂量和能量范围如何，都能获得最大的制造性能。AXCELIS NV 6200A是离子植入领域最重要的设备之一。EATON NOVA NV-6200A的设计在其成功中起着很大的作用。该机采用加热、自清洁、石英真空设备，专为惰性气体和二极管技术量身定制。其超高真空（UHV）版本是超低能碳氢化合物离子的理想选择。这台机器还利用了专有的RadialFieldTechnology,它可以实现高度统一的多点植入轮廓。此外,EATON NOVA/AXCELIS NV-6200A的构建可适应一系列半导体工艺,从而在复杂的植入过程中提供更大的灵活性。AXCELIS NV-6200A还具有集成的监视器,可实现闭环反馈和控制。该系统使用户能够监控粒子束电流、压力和气流，进行实时调整和校正。此外，监视器还可以诊断各种单元状况，并允许预防性维护，以提供可靠的操作到纳米水平。通过这种方法，用户可以确保工艺条件保持在尖端形状，从而使核共振分析成为可能。总体而言，NV 6200A是一种强大可靠的设备，可以处理最复杂、最先进的半导体加工需求。它允许用户使用一系列离子种类、剂量和能量来实现高度精确和精确的植入过程。通过利用Radial Field Technology以及集成的监视机器,该机器有助于确保制造性能最大化并成功完成任意数量的过程。
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