二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 6200A #9270103 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 6200A是一种高性能的离子植入器和监视器,旨在提供可靠和可重复的植入过程以及对光束性能的常规监控。这台机器将坚固和可扩展的体系结构与创新的软件和硬件相结合,这些软件和硬件优化了光束电流传递,提供了更高的准确性、效率和可靠性。AXCELIS NV 6200A能够植入从最小到最大的各种功能。它具有30kV到40kV的工作电压以及用户可以设定的电流、剂量、植入物角度等各种操作参数。它能够提供高达1200安培的光束电流，精度为0.5%，占空比大于99%。EATON NOVA NV-6200A有一个数字离子束控制器，能够精确和可重复地控制植入的离子。它有一个集成成像设备，允许用户调整光束的聚焦，实时监控植入的物体。监视器有一个先进的软件套件，允许用户实时监控光束的性能，以更有条理、更一致的方式记录数据。这台机器还配备了一个自动端点控制系统，该系统监视光束电流，并根据用户定义的参数自动调整。端点控制单元还智能优化光束电流和光束形状，确保达到预定义的端点目标。NV-6200A还配备了一个集成的温度控制机，用于镇静和维持负载锁室中气体的温度。这有助于最大限度地减少植入过程中的物体畸变，并确保稳定的植入过程。EATON NOVA/AXCELIS NV-6200A提供完整的备件清单和各种服务选项,使用户能够最大限度地延长工具的使用寿命。这一范围从预防性维护服务到烤箱重新接合，以防止灰尘和碎屑堆积。最后,EATON NOVA NV 6200A是为最大的安全性而设计的。它被封装在不锈钢外壳中，并配有先进的安全资产，可以防止任何潜在的事故发生。它还具有在光束移动时向操作员发出警报的运动传感器,以及激光辅助的安全锁定功能,以防止未经授权的访问。