二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 6200AV #9411903 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 6200AV是为生产先进集成电路和其他高精度先进材料而设计的先进离子体植入器和监视器。这台机器能够以高电流密度将离子植入基质中，从而产生精确的掺杂和低气体释放，从而排除了粒子陷阱。植入器使用一系列25个高压电池，这些电池以倒星形排列，可以精确移动和控制离子。植入器还装有电子束诊断系统，允许实时决定植入器的性能。该工具的设计考虑到了精确度和准确性。NovaAXCELIS NV 6200AV具有最先进的活性监测器,可提供峰值离子电流以及植入剂量、剂量分布、扫描范围和粒度,同时提供最佳植入条件的反馈数据。该控制面板提供多种电源功能，包括电源稳定、快速电压倾斜和光束稳定。这允许在非临界过程窗口内进行精确的离子注入，减少颗粒污染，提高芯片的机械稳定性。植入器还具有高电流、多段负载线圈组件。这允许对每个离子物种进行精确操作，即使在高电流浓度的情况下也能产生均匀的离子通量区域。对离子的精确控制确保在每一层产生所需的掺杂浓度的精确植入物。植入器还有一个内置的光束聚焦系统，根据植入条件进行调整，以确保最佳投影。EATON NOVA NV 6200 AV是一款可靠、高度先进的Ionomer Implanter and Monitor。它确保了精确和均匀的离子植入，并有一个前所未有的强大的实时监视器，允许一致的结果。此刀具是任何高精度IC制造和先进材料制造过程所必需的。