二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 8200 #293770174 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 8200是一款先进、高性能的离子植入器和监控设备,用于在纳米加工过程中执行关键植入和监控任务。这种多用途的装置能够通过带有内置微观观察头的光学掩模将离子植入半导体材料中。它采用离子注入监测器（IIM）来精确测量入射离子束的光束电流、光束光斑大小、光束均匀性和光束轮廓。该设备还具有一个数字植入深度（NID）系统,该系统允许用户精确控制离子在材料中的植入深度。AXCELIS NV 8200具有高性能不可估量的容量，具有从0.2 keV到25 keV的广泛光束能量，允许多种应用。该装置还具有以高度精确度和可重复性植入离子的能力。它有一个高分辨率的单色仪，提供0.025 nm的出色分辨率，6-50微米的垂直视场，10-100微米的平坦视场。EATON NOVA NV 8200旨在最大限度地提高所有植入和监控任务的吞吐量和生产率。它具有自动化的计算机控制监控单元，具有实时数据采集功能。数据采集机可用于存储植入过程中的所有相关数据，可进行分析，为植入过程和植入材料提供见解。NV 8200配备了坚固的真空工具，能在400-600°C的真空入口温度下提供10-15 mTorr的超低真空压力，以及真空供应高达5 x 10-6 Torr的密封抽水资产。它还拥有各种各样的维护和安全功能,例如内置警报模型可以检测设备的任何异常行为,以及可用于远程控制系统的人机接口。总之，EATON NOVA/AXCELIS NV 8200是一种功能强大、用途广泛的设备，在离子植入和监测任务中表现出色。其广泛的功能允许各种应用可能性，而其高分辨率成像和精密的监控单元使其成为各种植入和监控任务的理想选择。