二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 8200 #9409485 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 8200是为最苛刻的半导体处理应用而设计的下一代多用途离子植入器和显示器设备。它能够提供卓越的离子植入性能，以及高度准确可靠的监控能力。NovaAXCELIS NV 8200系统的核心是大面积穿孔离子源（LAPIS），提供卓越的离子植入性能。LAPIS允许大面积的高通量和均匀剂量。它还提供了改进的空间均匀性控制，并允许优化过程控制。该装置还具有高分辨率、高精度的全场偏转器控制机，使光束能够精确转向，同时最大限度地减少了偏转对整体光束均匀性的影响。该工具改进了空间均匀性的控制，优化了整个植入过程的剂量分布。NovaEATON NOVA NV 8200还具有高精度、单色型离子监视器,可提供卓越的稳定性和准确性。这允许对植入过程进行精确控制，并提供高水平的剂量均匀性和控制性。此外，资产配备闭环、温控真空室，提供优越的操作条件，保持光束均匀性。腔室对环境温度的变化具有高度绝缘，从而最大限度地减少了光束特性的变化。此外，该模型还包括其他几个特点，如高性能、电动高度调节器，可以快速准确地调节源高度，以及一个场可调节的波束线机械手，可以快速准确地调节光束角和/或入射角。总体而言,NV 8200是一款卓越的多功能离子植入器和显示器设备,旨在提供卓越的性能和可靠的监控功能。其特点使其成为要求苛刻的半导体加工应用的理想选择。