二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 8200P #293587241 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 8200P是一种先进的离子植入器和显示器，用于半导体制造操作。它具有高精度、基于直流的植入设备，具有多种集成传感器和显示器，能够实现精确和可重复的离子植入。该系统具有广泛的植入物参数和制定过程规则的能力，旨在以经济高效的方式提供优异的效果。该机组以0-90 kV加速电压范围和高达350 mA电流的先进多功能源为特色，使其既可以植入硼、磷、砷等轻离子，又可以植入的重离子有零、钛、氘等。为了提供准确的结果，它配备了一系列的原位监视器和传感器，包括用于测量植入物分布和剂量率的时间相关剖面的宽阔扫描通道，以及用于过程稳定的温度感测探头。AXCELIS NV-8200P还包括完整的自动化和控制功能,允许对过程参数进行微调和优化。例如，它可以设置和监控过程极限，调整光束刚度和能量，补偿光束摆动和非线性。它还可以快速测量临界剂量率，以及检测和纠正偏差误差。控制机还具有直观、一触即发的用户界面，提供一系列信息，包括当前的工艺条件和能级、刀具状态以及要执行的配方。此外,该资产还包括用于减少周期时间和提高产品产量的完整流程优化工具,以及用于故障排除问题的完整的维护和诊断工具套件。总体而言,EATON NOVA NV 8200 P是一款先进且用途广泛的离子植入器和显示器,旨在提供准确、可重复的结果,同时提供可靠的过程控制。它具有直观的用户界面和完整的自动化和控制功能，非常适合半导体制造应用。