二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 8200P #9402498 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 8200P是一种最先进的离子植入器和监视器。这种特殊的离子植入器和监控器被用于将离子植入半导体基板，然后可以用来修改和改善半导体材料的电特性。顾名思义,NOVAAXCELIS NV-8200P采用高端、高性能的AXCELIS离子源。Nova离子源设计效率很高，能够通过应用先进的离子束优化技术产生远光束电流和通量，同时最大限度地减少浪费。EATON NOVA NV 8200 P还拥有先进的监控系统，包括集成的实时光束监视器、粒子分布监视器和能量色散光谱仪。这种仪器组合可以精确控制光束的组成和特性，从而实现离子植入物的精确调谐和优化。NOVAAXCELIS NV 8200 P配备了广泛的工艺能力。它能够生产和控制硼、磷和砷植入物以及氮和氧植入物。它还能够产生从浅到接头和深度的各种植入物。此外，它还能够执行各种脉冲形状，如方波和三角波形，使大量剂量植入目标半导体基板。除了NOVAAXCELIS NV 8200P的植入和监控功能外，系统还包括可帮助确保系统精确校准的集成对准工具以及优化扫描对准，这是实现高植入产量的关键。EATON NOVA NV-8200P是一种高度先进和创新的离子植入器和监控器。它结合了先进的离子源、过程、监视器和比对工具，使其成为一种强大的离子植入工具，允许精确控制和优化植入参数，同时最大限度地减少浪费。这种功能广泛、功能强大的离子植入器和监控器是许多应用的重要工具，包括高级设备制造和半导体研究。