二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 8250 #293595700 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 8250是用于半导体和薄膜加工的离子植入器和监控设备。该系统由离子枪和电子监控器组成。离子枪产生一个离子束，通常由硼或磷组成，用来将掺杂物沉积到薄膜中，而电子监测器则测量合成束的电流。该单元具有6至12 keV的宽操作电压范围，可以连续或脉冲操作。它配备了控制光束角度和宽度的偏转器，以及测量光束法拉第电流的法拉第发生器，以确定薄膜的掺杂浓度。此外,该机器具有很高的容错能力,并结合了自我诊断功能来检测任何故障,从而能够快速轻松地进行维护。该工具利用了多种薄膜（ZnS、TiN、SiC等）。源材料（通常是晶片）放置在源支架中,可以根据尺寸、厚度和倾斜度进行调整。光束光斑大小、电流和能量等光束参数可以调整，光束可以偏转到不同角度，提供晶圆表面的均匀覆盖。离子束通过静电透镜阵列被引导，使光束的光斑尺寸得以精细调整。资产还配备了多项保护操作员和设备的安全功能。该模型包括一个紧急冲洗设备，当检测到异常时自动关闭电源。此外，源持有者被一个被屏蔽的盒子包围，减少操作员对任何危险辐射的暴露。AXCELIS NV 8250是一种高度先进的离子植入器和监控系统，允许在用于半导体和薄膜加工的薄膜上进行精确可靠的掺杂沉积。该设备具有高度可调的参数和广泛的安全特性，可以帮助操作员取得一致和可靠的结果。