二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 8250 #9361406 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 8250是一款专为半导体制造而设计的最先进的离子植入器和显示器。这种先进的植入器利用直流电（DC）或脉冲直流离子源来提供精确的离子束控制、精确的沉积，以及用于现代、市售的半导体基板的高通量。8250具有高分辨率电阻光学扫描仪，直接安装在植入器上，以精确监测和控制离子束电流。通过使用自动剂量计量设备和基于知识的单色成像,扫描仪还有助于确保出色的轮廓控制。通过提供离子植入物深度和系统性能的实时信息，可以保证用户在所有过程周期中的高性能离子植入物轮廓和均匀性。8250植入器融合了高通量、低漂移源和离子源设计。这样可以确保能量分布高度均匀,背景接近零,从而在沉积过程中实现良好的轮廓控制和可重复性。该源能够在从50 eV到250 keV的各种离子植入物能量中运行。离子源还支持额外的多目标阵列，以支持专门的电离技术。此外，8250植入器提供了广泛的温度控制和过程监控。它具有温度控制的烹饪室、蒸发炉和高精度的温度控制单元。这确保了沉积过程中的所有参数都保持在要求的范围内，并且在生产高质量的半导体晶片时最大限度地提高基材产量。8250机还包括具有直观用户界面的精密软件。这使工程师能够轻松地根据其特定的应用程序要求对植入器进行编程,并跟踪工具性能。还可以从资产软件中访问植入深度、能量和其他参数的实时反馈。这种先进的离子植入器和监测器的设计为生产高性能半导体晶片提供了高效、可靠的解决方桉。AXCELIS NV 8250从高通量、低漂移源设计到独特的温度控制和工艺监控，都是微型设备最先进制造的理想选择。