二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200 #293721218 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200是为生产先进的半导体IC而设计的离子植入器和显示器设备。它能够以非常高的精度和可重复性将离子束植入硅片。系统操作高压电源，产生1至5kV的离子束和高达10mA的离子束电流。然后通过精密扫描和阵列单元（PS&PU）对光束进行聚焦和引导,以确保离子束始终处于所需的位置和强度。此外，该装置还配备了粒子探测器，用于测量植入物参数，如电流密度、光束大小和剂量率。此外,该机还采用了先进的控制工具,可实现最优的植入过程结果.AXCELIS NV GSD 200是一种自动化资产,它通过使用射频电源为每个批次产生适当的能量水平来保证快速准确的植入。此外，该模型在植入一批晶片之前以最短的安装时间确保快速响应时间。通过在单个工艺周期中放置9-15晶圆,还可以确保高吞吐量。该设备采用紧凑的框架设计,总尺寸为2.8m x 3.3 x 2.2m （LxWxH）,非常适合在现代生产设施中安装。此外，它还配备了数字信号处理器（DSP）和嵌入式系统软件，可以对设备进行快速、可靠的控制和操作。为了保证可靠、可重复的植入，该机能够高精度、高精度地控制工艺参数。植入电压、光束能量和植入剂量率等工艺参数是可调的.作为一个额外的安全功能，该工具还包括一个自动保护资产，在电源故障时关闭该型号的高压和离子束，保证充分保护免受任何辐射损害。EATON NOVA NV-GSD-200是一款先进可靠的植入器和监控设备,可提供最大的工艺灵活性和可重复性。它允许以非常高的精度和可重复性植入离子，从而能够高效、经济高效和可靠地生产先进的半导体IC。此外，由于先进的控制系统和保护单元，机器保证安全和整体质量的所有植入物。