二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200 #293745414 待售
网址复制成功！
单击可缩放
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200是一款专为高性能芯片制造和测试而设计的离子植入器和显示器。该设备使用户能够以更高的精度和生产控制水平将离子植入半导体基板中。它由两个主要模块-离子植入器和监视器组成。植入模块内的喷射器系统能够在植入周期内在不同工件上产生低PDS和TPH植入物。该装置包含几个独立的电源，以提高血浆稳定性，改善过程控制和减少变化。此外,它还具有集成控制器和几个专用硬件接口,可提高性能和控制能力。这样可以提高可靠性并实现更高效的数据采集。机器的监控模块能够显示实时参数以实现过程控制。它包括一个具有开环和闭环操作的控制系统，允许操作员即时改变注入参数。此外，该设备还配备了一个电阻率监视器，连接到植入物和监视器模块，以测量和分析电阻率随时间的变化。这有助于识别和分析植入过程中的任何异常。该装置还配备了内置真空系统，以及大型真空室，以尽量减少污染物，最大限度地提高空气流通。这样可以确保最佳的植入质量,并提高生产级别的可靠性。此外，该装置在操作过程中不受环境波动的影响，减少了出错的机会，提高了生产率。AXCELIS NV GSD 200是一款用途广泛、可靠的离子植入器，是芯片制造和测试的理想选择。
还没有评论